| Für den Inhalt der Forschungsdaten verantwortliche Person(en) | Lammel, Michaela | |
| Für den Inhalt der Forschungsdaten verantwortliche Person(en) | Thomas, Andy - TU Dresden | |
| Kurzbeschreibung | This is supplementary information to the publication: "Fast fourier transform and multi-Gaussian fitting of XRR data to determine the thickness of ALD grown thin films within the initial growth regime" | |
| Weitere Schlagwörter | XRR | |
| Weitere Schlagwörter | FFT | |
| Weitere Schlagwörter | ALD | |
| Sprache | eng | |
| Entstehungsjahr oder Entstehungszeitraum | 2018-2020 | |
| Veröffentlichungsjahr | 2020 | |
| Herausgeber | Technische Universität Dresden | |
| Herausgeber | IFW Dresden | |
| Referenzen auf ergänzende Materialien | IsSupplementTo: arXiv:2008.04626 (arXiv) | |
| Inhalt der Forschungsdaten | Dataset, Model, Software: XRR data of /Fe2O3/Y2O3 double layer on Si/SiO2 substrate | |
| Inhaber der Nutzungsrechte | Technische Universität Dresden | |
| Inhaber der Nutzungsrechte | IFW Dresden | |
| Nutzungsrechte des Datensatzes | CC-BY-4.0 | |
| Eingesetzte Software | Resource Production: Python 3.x | |
| Angabe der Fachgebiete | Chemistry | de |
| Angabe der Fachgebiete | Materials Science | de |
| Angabe der Fachgebiete | Physics | de |
| Titel des Datensatzes | Jupyter notebook code and example file for the evaluation of XRR data via FFT | |
